Rentang perjalanan
20 mm
Resolusi
0,125μm
Repeatability
<1 μm
Straightness
<2μm
Paralélisme
<5μm
Pitching
10″(50 μrad）
Nguap
Laju maksimum
5 mm/detik
Kapasitas beban
10 kg
Beurat
1,5 kg
